現(xiàn)以近年來國內(nèi)外報道的幾種制水流程進(jìn)行解析。日奉一公司在上海某超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)廠中設(shè)計的純水制備流程該系統(tǒng)由預(yù)處理系統(tǒng)、一次純水制造系統(tǒng)、二次純水制造系統(tǒng)及排 某超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)廠的純水制備工藝流程水回收等支系統(tǒng)組成。

　　純凈水設(shè)備預(yù)處理系統(tǒng)。根據(jù)原水水質(zhì)，采用凝聚加壓上浮裝置、雙層過濾器及二氧化碳脫氣塔組成。

　　原水中的懸浮物及部分溶解的有機物經(jīng)凝聚后，因密度小而難于沉降，采用加壓上浮處理可有效去除，后置的雙層過濾器可截留上浮裝置中流出的微細(xì)凝聚體，

　　以使原水進(jìn)一步澄清，通過二氧化碳脫氣塔除去重碳酸根成分以防止后置濃水側(cè)膜向上析出碳酸鈣。 b.一次純水系統(tǒng)。該系統(tǒng)由三級RO、脫氧裝置及離子交換柱組成。